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净化工程分类及优缺点

作者:: 日期:2019-01-24 11:43 人气:
    净化工程产品操控(如硅芯片等) 所触摸之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个杰出之环境空间中出产、制作。此空间的规划施工进程即可称为净化工程。乱流式 (Turbulent Flow)空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两边隔间墙板或高架地板。
 

 
    长处:结构简略、体系缔形成本低,洁净室的扩大比较简略,在某些特殊用处场所,可并用无尘作业台,进步洁净室等级。缺陷:乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。别的若体系中止作业再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时适当长一段时间。
 
    层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由掩盖率100百分之之过滤器进入室内,并由高架地板或两边隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境运用,一般其洁净室等级为Class1~100.其型式可分为二种。
 
    水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙面之回风体系回风,尘土随风向排出室外,一般在下贱侧污染较严峻。长处:结构简略,作业后短时间内即可变成安稳。缺陷:缔造费用比乱流式高,室内空间不易扩大。
 
    笔直层流式:房间天花板彻底以ULPA过滤器掩盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或作业人员所发生的尘土可快速排出室外而不会影响其它作业区域。长处:办理简略,作业开端短时间内即可达安稳状况,不易为作业状况或作业人员所影响。缺陷:结构费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架适当占空间,修理替换过滤器较费事。
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