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洁净室对气流要求介绍

作者:: 日期:2018-10-26 11:34 人气:
  洁净室的气流组织与一般的空调房间不同。它需要首先将最干净的空气送到操作现场。其功能是限制和减少工件的污染。为此,在设计气流组织时应考虑这些原则:尽量减少涡流并避免将工作区域外的污染物引入工作区域。
 

 
  尽量防止二次粉尘飞扬以减少粉尘污染工件的可能性;工作区内的气流应尽可能均匀,风速应符合工艺和卫生要求,流入回风口时空气应在空气中。可以有效地带走灰尘。根据不同的清洁度要求,选择不同的输送和返回空气模式。
 
  气流组织水平单向流动:在第一工作区域仅达到100清洁度,并且在空气流向另一侧时灰尘浓度逐渐增加,因此它仅适用于具有不同清洁度要求的同一房间过程。整理房间;供气壁部分高效过滤器比全尺寸过滤器更加水平,减少了高效过滤器的数量,节省了初期投资,但局部区域有涡流。
 
  湍流型:孔板顶部进料和密集扩散器顶部进料的特点与上述相同:侧进料的优点是易于布置管道,不需要技术中间层,成本低,这有利于旧厂房的改造。缺点是工作区域的风速很大。背风侧的粉尘浓度高于迎风面;高效过滤风口系统简单,无管道高效过滤,直接通向工作区域,但清洁气流传播缓慢,工作区气流相对均匀;然而,当均匀地布置多个风嘴或使用具有漫射板的高效过滤风口时,可以使工作区域中的气流均匀;然而,在系统不连续操作的情况下,漫射板易于积聚灰尘。
 
  上述讨论均处于理想状态,并且也得到相关国家标准,标准或设计手册的推荐。在实际工程中,它可能受到客观条件的限制,或者由于设计者的主观原因而未设计气流组织。常见的是:垂直单向流动采用相邻侧壁下侧的回风,局部百级采用Back(即局部供气口下没有下垂帘),湍流型洁净室采用高效过滤器出风口顶部送回或单面背面(间距较大)这些方法已被测量。
 
  其大多数清洁度不符合设计要求。由于当前规范[6]中规定的空状态或静态接受,这种类型的洁净室在开放状态或静态状态下几乎达不到设计清洁度水平,但抗污染干扰能力非常低,一旦洁净室进入工作状态,不会达到要求。正确的气流组织局部区域应设置为下垂到工作区域的高度,并且不应使用100,000类来发送上背部。目前大多数工厂还生产带有扩散板的高效供气口。扩散板仅是装饰孔板,并不起扩散气流的作用。请特别注意设计师和用户。
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